Microlithographic techniques in IC fabrication - 25-26 June 1997, Singapore
- Författare
- (Soon-Fatt Yoon, Raymond Yu, Chris A. Mack, chairs/editors)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1997 | USA | 264 sidor. | 0-8194-2610-5 |